谁叫人家是国内最权威的半导体研发机构。如果从级别上来看,说它是中国半导体学界的武林盟主也不为过……
当然哪怕只是一条生产线,若是日本尼康的产品月产量也能达到三万片。若是荷兰阿斯麦的产品,月产量五万片也毫无问题。但国内技术不论是良品率还是自动化程度,都远远不及这两家。尤其是0.8微米工艺基础上仓促改造而来的0.5微米工艺生产线,良品率更是在原本就不高的产量上跌了一大截。
“周桑,nand闪存的生产相关工艺就是如此了。虽然你们的设备要比我们东芝的差一些,但完成生产流程是没有问题的。”中村晴树翻看了一下相关设备的参数设计,肯定的说道。
东芝虽然不怎么看得上这样的小生意。但多少秉持着日本人的谨慎性格,还是派来了一个靠谱的技术人员。在中村晴树的指导下,集成电路设计方案直接使用了东芝的技术,掩膜、光刻和扩散、沉降等技术参数经过不断的调试,也都已经准备就绪。
在中村晴树认可之后,周硕也有些兴奋的向光刻机前的麻友公点了点头。
麻友公操作着设备,将已经抛光和清洗完毕的晶圆,放入到光刻机中。接下来的工作,就不再是需要人为干预的了。
何况蜂巢实验室作为泛翰研究院的核心实验室。也不方便让中村晴树一个日本人呆太久,周硕连忙将他送了出去。
十三个小时之后,完成了八十三道工序的晶圆,经过最后一次清洗终于完成了它的加工历程。安静的躺在了实验台上。
此时,蜂巢实验室的十四位研究员全部聚集一堂,都围拢在负责测试用的测频仪前面
第二百七十七章 良品率(2/6)